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產(chǎn)品中心

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單片濕法制程設(shè)備

單片兆聲清洗機

特點：

掩膜版清洗機是一臺整機主要由設(shè)備外殼、清洗工位、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)等組成。包含腐蝕清洗腔控制單元、藥液供給與補充系統(tǒng)、藥液排放與回收系統(tǒng)、電機控制器等單元；機臺具有運行、工藝參數(shù)設(shè)置、維護及報警查詢等功能，能顯示當(dāng)前的工藝程序號、工藝步驟、當(dāng)前旋轉(zhuǎn)速度、清洗時間等參數(shù)；系統(tǒng)還具有報警信息、維護信息等系統(tǒng)記錄；設(shè)備臺面右側(cè)配置水、氮***功等輔助功能；

清洗能力: 8（12）inch   1 cassette / Batch     25 Pcs/cassette；

產(chǎn)能要求: 濕法制程清洗工藝XXXX  Pcs /月（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計算，預(yù)估值）；


產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品詳情：

全中文操作界面,人工手動將掩膜版安放至腐蝕清洗腔旋轉(zhuǎn)主軸支架（5寸7寸兼容）卡盤上,工藝時間為15 min /批或30min/批,工藝時間可調(diào)；

確認防護隔離門及設(shè)備操作門到位后啟動起始按鈕，執(zhí)行設(shè)定好的操作流程，清洗臂A旋轉(zhuǎn)搬運至掩膜版正上方后（與清洗腔內(nèi)下方的噴管同步完成或獨立完成動作）執(zhí)行設(shè)定動作；首先噴灑酸液（時間可設(shè)定，掃描路徑可設(shè)定），再噴灑堿液（時間可設(shè)定，掃描路徑可設(shè)定），再噴灑DI（時間可設(shè)定，掃描路徑可設(shè)定），清洗臂A根據(jù)工藝流程回旋至原點位置等待；

刷洗臂B隨即旋轉(zhuǎn)搬運至掩膜版正上方后（與清洗腔內(nèi)下方的噴管同步完成或獨立完成動作）開始刷洗動作（時間可設(shè)定，掃描路徑可設(shè)定），完成設(shè)定動作后恢復(fù)至原點位置等待；

N2噴淋管啟動同時配合腐蝕清洗腔旋轉(zhuǎn)主軸高速旋轉(zhuǎn)完成干燥工藝步驟；

全部清洗工藝動作完成后旋轉(zhuǎn)主軸停機等待并報警提示；

規(guī)格特點：

項目

說明

機臺型號

CGB-MC-XX；

機臺重量

XX；

清洗能力

5   inch  7 inch  標(biāo)準(zhǔn)掩膜版（光刻版/光罩）；

處理方式

單片處理   人工手動取放片；

設(shè)備形式

室內(nèi)放置型（潔凈度：千級潔凈室）

機臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)

聚丙烯磁白PP 10T；

機臺視窗

材質(zhì)

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T；

左右推拉式；

機臺主機強度結(jié)構(gòu)

整體SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架；

防漏盤

材質(zhì)

聚丙烯磁白PP板材；

模式

分體式  每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm；

其它

水平調(diào)整

通過地腳調(diào)整設(shè)備水平；

設(shè)備移動

設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用；

臺面板結(jié)構(gòu)

￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   PP板材；

漏液檢測裝置

防腐材質(zhì)；單點式；

模式

可拆式；

排風(fēng)系統(tǒng)

排風(fēng)口位置

設(shè)備后頂部；

排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)

排風(fēng)強勁合理設(shè)計，為了排風(fēng)效果達到更佳，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板；

為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機臺視窗上的可調(diào)進氣模塊使用達到更佳使用效果；

設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區(qū)內(nèi)并排放至機臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)；

功能

可以將清洗工藝過程中產(chǎn)生的氣體、氣味排走。

機臺的電控系統(tǒng)

安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動操作復(fù)位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動維護、自動運行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級加密進入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限；