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槽式濕法制程設(shè)備

GAN去光阻全自動清洗機(jī)

特點：
生產(chǎn)主線為：上料臺、超聲循環(huán)溢流槽1、循環(huán)溢流槽槽2、循環(huán)溢流槽槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺，共5個制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口件，性能可靠，使用壽命長；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺是一個人機(jī)界面（觸摸屏）加PLC控制的自動控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機(jī)械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各工藝處理。
加工對象：藍(lán)寶石基底的GaN、砷化鎵基底的AlGaInP晶片和PSS襯底；

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品詳情：

項目

說明

機(jī)臺數(shù)量

1臺（套）；

機(jī)臺重量

XX；

加工對象

藍(lán)寶石基底的GaN、砷化鎵基底的AlGaInP晶片和PSS襯底；

清洗能力（采購方提供cassette樣品）

4 inch   2 cassette / Batch  25 Pcs/cassette；6 inch     1 cassette / Batch  25   Pcs/cassette；

產(chǎn)能要求

濕法制程清洗工藝XXXX    Pcs /月（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計算，預(yù)估值）；

設(shè)備形式（潔凈度：千級潔凈室）

室內(nèi)放置型；  

機(jī)臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)

聚丙烯磁白PP 10T（）；

阻燃聚丙烯PP 10T （）；

米黃色聚氯乙烯PVC 10T （）；

SUS304單鏡面板材1.5T（√）； 

機(jī)臺視窗

材質(zhì)

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T （√）；

SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃   5T（）； 

模式

上下舉升式（）；

左右推拉式（√）；

機(jī)臺主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)

整體SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架；

防漏盤

材質(zhì)

聚丙烯磁白PP板材；

模式

分體式  每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm；

漏液檢測裝置

材質(zhì)

防腐材質(zhì)；

點式

單點式；

其它

水平調(diào)整

通過地腳調(diào)整設(shè)備水平；

設(shè)備移動

設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用；

臺面板

材質(zhì)

￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   聚丙烯磁白PP板材（）；

￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   SUS304單鏡面板材（√）；

相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經(jīng)過時漏液（）；

模式

可拆式（√）；

一體式（）；

排風(fēng)系統(tǒng)

排風(fēng)口位置

設(shè)備后頂部（√）；

設(shè)備后下部（）；

設(shè)備后部（）；

排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)

1） 排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計，為了排風(fēng)效果達(dá)到更佳，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板；

2） 為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到更佳使用效果；

3） 設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機(jī)臺U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機(jī)臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)；

機(jī)臺的電控系統(tǒng)

安裝在機(jī)體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動操作復(fù)位功能。每個機(jī)臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動維護(hù)、自動運行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護(hù)信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級加密進(jìn)入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限；

工藝記錄儲存類型

工業(yè)掃碼槍+PLC+觸摸屏

使用程序時刷條碼確認(rèn)程序,完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細(xì)記錄存儲,便于采購方對生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控; 程序運行記錄可定時存儲，存儲數(shù)據(jù)類型參考如下：程序號、操作者、槽體溫度、設(shè)定時間、運行時間、報警信息等（待定）。PLC或觸摸屏具有USB接口，可讀出程序運行記錄；

規(guī)格特點：
01）工藝說明: 自動傳動，自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個過程全自動進(jìn)行； 02）全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
03）搬運機(jī)械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩(wěn)；
04）搬運機(jī)械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
05）搬運機(jī)械手運行平穩(wěn)，帶有過載和過流保護(hù)，工藝槽發(fā)生異常報警需將工藝槽產(chǎn)品放置到溢流槽保護(hù)并立即啟動報警（手臂故障需要立即發(fā)出報警并不可消除）；當(dāng)工裝出現(xiàn)意外情況時程序自動將藥液排空注入DIW稀釋救貨；

06）工藝槽設(shè)有花籃物理檢測裝置，防止壓籃；
07）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；

08）優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量；

09）工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；

10）整機(jī)在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；

11）整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；

12）整機(jī)采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；

13）整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；

14）機(jī)臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；

15）整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計，便于排液，最低處設(shè)有漏液報警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時沖洗；

16）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計，防止溶劑混用；

17）設(shè)計合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染??；

18）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；

19）廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；

20）設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護(hù)區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入酸堿廢液總管；

21）工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn)，至少需要三面溢流；

22）搬運機(jī)械手抓驅(qū)動部分為電機(jī)馬達(dá)驅(qū)動完成指定動作并配有傳感器實時監(jiān)測,抓取部位設(shè)有防壓框傳感器,檢測抓取成功與否；

23）搬運機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等），以保護(hù)操作人員安全；

24）工藝槽工作區(qū)域與機(jī)臺控制外配有安全監(jiān)測裝置，防止搬運機(jī)械手對操作人員的意外損傷；

25) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；

26) 機(jī)臺上料下料區(qū)各配水***2把；

27）機(jī)臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；

28）機(jī)臺總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；

29）工藝槽槽底傾斜式，便于排空；

30）根據(jù)工藝要求選擇配套UPS電源（15-20min）；

31) 排風(fēng)調(diào)節(jié)板根據(jù)風(fēng)壓可自動調(diào)節(jié)；