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全自動晶圓倒角機采用日本先進工藝，主要用于SiC等化合物半導(dǎo)體晶片、Si晶片等的外圓倒角，利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工。晶圓尺寸6、8標(biāo)準尺寸，兼容非標(biāo)尺寸（153、155、157、160、190、206、212等尺寸），厚度0.2mm~1mm。產(chǎn)能：每天359片，每月10770片。