北京華林嘉業(yè)高端定制款最終清洗機(jī)順利交付出廠
6月7日北京華林嘉業(yè)科技有限公司（簡稱CGB），又一批全自動(dòng)最終清洗機(jī)順利完成交付出廠。
該系列設(shè)備為我公司開發(fā)的專利產(chǎn)品，專業(yè)應(yīng)用于SiC襯底和SiC外延片最終清洗的工藝環(huán)節(jié)。涵蓋了全部的RCA清洗技術(shù)，包括SC1、SC2、SPM、HF等藥液，通過合理有效地藥液槽的布局排列，結(jié)合超聲(兆聲)技術(shù)，對SiC芯片的表面進(jìn)行清洗處理；通過自主開發(fā)的控制軟件，有效地將多ROBOT運(yùn)動(dòng)軌跡，與清洗工藝有機(jī)結(jié)合，避免了交叉污染，保證了清洗工藝的順利實(shí)施。集成在線的甩干機(jī)或Marangoni dryer單元，保證了晶片干進(jìn)干出，便于晶片進(jìn)入下一工序。
本設(shè)備具備完善的安全防護(hù)設(shè)施，配備了10級FFU，用于十級或百級凈化間。整個(gè)清洗過程，不需要人為干預(yù)。該設(shè)備已在國內(nèi)多家SiC生產(chǎn)龍頭企業(yè)使用，得到了用戶的全面認(rèn)可，具有非常高的市占率。*工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速，清洗后的6/8英寸SiC芯片，表面顆粒達(dá)到<30顆/片@0.3微米，表面金屬雜質(zhì)殘留<5E10（16種金屬離子），完全滿足SiC器件工藝對表面的技術(shù)要求。
北京華林嘉業(yè)科技有限公司（簡稱CGB)，公司總部位于中國北京亦莊國家經(jīng)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，制作基地位于河北省廊坊市香河機(jī)器人產(chǎn)業(yè)園。
作為國內(nèi)高端濕法制程設(shè)備供應(yīng)商，CGB嚴(yán)格按照國際質(zhì)量管理體系標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全員、全方位、全過程的控制，并于2008年通過了ISO9001:2000質(zhì)量體系認(rèn)證。2013年順利通過國家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定。作為一家快速崛起的濕法制程設(shè)備制造商，CGB公司依托本地化制造基礎(chǔ)和便捷服務(wù)、國際化的經(jīng)營理念和人才團(tuán)隊(duì)、先進(jìn)的工藝試驗(yàn)條件和暢通的零部件供應(yīng)渠道，致力于為相關(guān)領(lǐng)域企業(yè)提供先進(jìn)的槽式、單片等設(shè)備及工藝的集成解決方案。
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：大規(guī)格集成電路（IC）、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)、硅材料（SI)、化合物半導(dǎo)體（Compound Semi）、光通信器件（Optical Information Devices)、功率器件(Power Devices)、半導(dǎo)體照明（LED)、先進(jìn)封裝（Advanced Packaging)、光伏電池（Photovoltaic)、平板顯示（FPD)、備品備件（Parts)、科研設(shè)備（R&D Equipment)等。公司主要從事半導(dǎo)體、新材料等領(lǐng)域濕法制程設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)。產(chǎn)品性能處于國內(nèi)行業(yè)領(lǐng)先地位，并逐漸接近國際行業(yè)先進(jìn)水平。
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郵箱/Email ：sales@cgbtek.com
公司網(wǎng)站/Website: http://potuan.com.cn
生產(chǎn)基地/Address: 河北省廊坊市香河機(jī)器人產(chǎn)業(yè)園3期A棟
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