全自動RCA自動清洗機
全自動RCA自動清洗機
作為半導(dǎo)體晶片清洗行業(yè)使用最多的工藝之一，RCA清洗工藝的存在已有多年的歷史。最初，人們使用的清洗方法沒有可依據(jù)的標準和系統(tǒng)化。1965年， RCA(美國無線電公司)研發(fā)了用于硅晶圓清洗的RCA清洗法，并將其應(yīng)用于 RCA元件制作上，該清洗法成為以后多種前后道清洗工藝流程的基礎(chǔ)，以后大多數(shù)工廠中使用的清洗工藝基本是基于最初的RCA清洗法。
RCA清洗法依靠溶劑、酸、表面活性劑和水，在不破壞晶圓表面特征的情況下通過噴射、凈化、氧化、蝕刻和溶解晶片表面污染物、有機物及金屬離子污染。在每次使用化學(xué)品后都要在超純水(UPW)中徹底清洗。
RCA設(shè)備特點
1、采用PLC自動控制，根據(jù)客戶需求，設(shè)有多道配方供客戶選擇;
2、具有手動模式和自動模式切換功能;
3、前置式機械手傳輸，機械和電氣雙重限位卡控，定位精度高、傳送平穩(wěn)、運行可靠;
4、有PVC/PP/SUS304等多種不同材質(zhì)類型的機臺;可根據(jù)藥液性質(zhì)和工藝需求進行選擇;
5、工藝槽可根據(jù)客戶需求配備噴淋、溢流、循環(huán)、拋動、轉(zhuǎn)動、盤管冷卻、超聲清洗等不同的產(chǎn)品工藝;
6、機臺外殼門板上裝有透明視窗，方便觀察機臺內(nèi)的運行情況;
7、機臺內(nèi)配有依客戶需求定制的甩干機，可直接于Bench主屏幕完成一系列操作。
RCA設(shè)備工藝
A、噴淋：利用高壓水，快速沖洗產(chǎn)品上殘留的藥液;
B、溢流：槽體邊沿成鋸齒形，槽內(nèi)純水一直溢流;
C、循環(huán)：利用循環(huán)泵使槽內(nèi)藥液一直保持流動狀態(tài)，使清洗效果更好;
D、拋動：槽內(nèi)裝有拋動機構(gòu)，使產(chǎn)品與藥液接觸效果更好;
E、轉(zhuǎn)動：槽內(nèi)裝有轉(zhuǎn)動機構(gòu)，使產(chǎn)品在槽內(nèi)自轉(zhuǎn)，防止產(chǎn)品有清洗不到位的地方;
F、盤管冷卻：槽內(nèi)裝有冰水盤管，更好的保證槽內(nèi)溫度的穩(wěn)定性;
G、超聲清洗：主要是利用超聲波的強力沖擊效應(yīng)，對附著在產(chǎn)品表面的物質(zhì)進行清洗;
H、熱氮烘干：通過高溫的離子風，使產(chǎn)品表面的殘留水漬快速烘干;
I、傳輸方式：PLC控制機械手左右移動，上下運行，具備倒車功能。
設(shè)備總體組成及其結(jié)構(gòu)
如圖所示，設(shè)備結(jié)構(gòu)主要由機架、工藝槽體、機械手傳輸系統(tǒng)、排風系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)以及甩干機模塊等組成。
根據(jù)工藝槽性質(zhì)的不同，設(shè)備的相應(yīng)的處理也有一些差異：
(1)設(shè)備機架采購不銹鋼304方管骨架構(gòu)成；
(2)殼體根據(jù)工藝槽藥液性質(zhì)的不同，分為耐火PVC，瓷白PP板，以及SUS304板包覆；
(3)電控區(qū)設(shè)置在機臺的后上部，與中部和底部的管路、氣路區(qū)完全隔離;
(4)槽體材質(zhì)也根據(jù)藥液性質(zhì)的不同，分為石英、PTFE、PVDF、SUS 316、NPP等材質(zhì);
(5)機械手伸入制程區(qū)的部分均作防酸、防堿、防有機腐蝕處理;
(6)設(shè)備的排風系統(tǒng)由調(diào)風板和風腔以及風閥組成。風閥位于機臺頂部或者后方，可根據(jù)工藝的不同選用自動風閥和手動風閥兩種;風腔與機臺殼體滿焊而成，內(nèi)側(cè)做有倒流管道，防止水汽在腔體內(nèi)凝聚，無法正常排放;調(diào)風板位于制程區(qū)槽體后側(cè)，為可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，通過調(diào)節(jié)調(diào)風板控制抽風量的大小。
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