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碳化硅與第三代半導(dǎo)體的淵源

發(fā)布時(shí)間:2024-01-04發(fā)布人:
一、什么是碳化硅(SiC)?


碳化硅屬于第三代半導(dǎo)體材料,與普通的硅材料相比,碳化硅的優(yōu)勢(shì)非常突出,它不僅克服了普通硅材料的某些缺點(diǎn),在功耗上也有非常好的表現(xiàn),因而成為電力電子領(lǐng)域目前最具前景的半導(dǎo)體材料。正因?yàn)槿绱?,已?jīng)有越來(lái)越多的半導(dǎo)體企業(yè)開(kāi)始進(jìn)入SiC市場(chǎng)。

碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)、氮化鋁(ALN)、氧化鎵(Ga2O3)等,因?yàn)榻麕挾却笥?.2eV統(tǒng)稱(chēng)為寬禁帶半導(dǎo)體材料,在國(guó)內(nèi)也稱(chēng)為第三代半導(dǎo)體材料。


二、碳化硅的發(fā)現(xiàn)

人類(lèi)歷史上第一次發(fā)現(xiàn)碳化硅是在1891年,美國(guó)人艾奇遜在電溶金剛石的時(shí)候發(fā)現(xiàn)一種碳的化合物,這就是碳化硅首次合成和發(fā)現(xiàn)。隨后各國(guó)科學(xué)家經(jīng)過(guò)深入研究之后,終于理清了碳化硅的優(yōu)點(diǎn)和特性,并且發(fā)明了各種碳化硅的長(zhǎng)晶技術(shù),產(chǎn)業(yè)研究前后長(zhǎng)達(dá)70多年。

2001年的時(shí)候英飛凌就做出了第一只碳化硅二極管,然后Cree,羅姆,ST等公司也相繼進(jìn)入碳化硅領(lǐng)域,做出了碳化硅二極管,三極管,MOSFET管等,有少量科研機(jī)構(gòu)用研發(fā)過(guò)碳化硅IGBT結(jié)構(gòu),但是IGBT結(jié)構(gòu)的一時(shí)半刻找不到應(yīng)用場(chǎng)景。

以前大家都知道碳化硅很好,但是問(wèn)題也很多,第一長(zhǎng)晶技術(shù)不成熟,晶體內(nèi)缺陷太多,嚴(yán)重影響良率和穩(wěn)定性,可靠性;其次是不知道應(yīng)用場(chǎng)景,因?yàn)樘蓟杵骷m然性能強(qiáng),但是太貴,找不到一個(gè)很適合的商業(yè)落點(diǎn)。

但是這一切都被特斯拉改變,特斯拉是業(yè)內(nèi)第一個(gè)提出使用碳化硅替代硅的車(chē)企,并且大膽用到特斯拉的毛豆3上,隨后其他車(chē)廠紛紛效仿,碳化硅迎來(lái)大規(guī)模上車(chē)的階段,因此業(yè)內(nèi)認(rèn)為碳化硅發(fā)展元年是在2019年,特斯拉這一大膽的舉動(dòng),拉開(kāi)了碳化高速發(fā)展的序幕。


三、碳化硅與半導(dǎo)體


在半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)從材料端分為:

第一代元素半導(dǎo)體材料:如硅(Si)和鍺(Ge);

第二代化合物半導(dǎo)體材料:如砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等;

第三代寬禁帶材料:如碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氮化鋁(ALN)、氧化鎵(Ga2O3)

禁帶寬度物理意義是實(shí)際上是反映了價(jià)電子被束縛強(qiáng)弱程度的一個(gè)物理量,也就是產(chǎn)生本征激發(fā)所需要的最小能量,自由電子獲得足夠的能量后能躍遷到導(dǎo)帶,這個(gè)能量最小值就是禁帶寬度。


禁帶寬度直接決定著器件的耐壓和最高工作溫度,因此禁帶寬度大的材料更適合高溫高壓場(chǎng)景。

相比之下硅禁帶寬度只有1.12eV,碳化硅有三倍于硅的禁帶寬度,因此承受同樣電壓的器件,碳化硅器件的面積要比硅器件小的多,只有1/10,電壓越高面積比越明顯,或者說(shuō)同樣面積下,碳化硅的耐壓比硅強(qiáng)很多。

總結(jié)以下幾點(diǎn)優(yōu)點(diǎn):


1、寬禁帶半導(dǎo)體材料的禁帶寬度大,擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度高,大大增加了寬禁帶器件能夠承受的峰值電壓,器件的輸出功率可以大大提高;

2、寬禁帶材料具有高導(dǎo)熱性、高化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)。使功率器件能夠在更惡劣的環(huán)境下工作,大大提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性;

3、寬禁帶材料具有優(yōu)異的抗輻射能力。在輻射環(huán)境下,寬禁帶器件的輻射穩(wěn)定性比硅器件高10~100倍,是制作耐高溫、抗輻射的大功率微波功率器件的優(yōu)良材料。

4、由于寬禁帶半導(dǎo)體器件的結(jié)溫較高,它們可以在冷卻條件差、熱設(shè)計(jì)保證差的環(huán)境中穩(wěn)定工作。

其中半絕緣型碳化硅上主要是長(zhǎng)氮化鎵外延層制造用于射頻和光電器件,導(dǎo)電型碳化硅襯底上長(zhǎng)同質(zhì)碳化硅外延層用來(lái)做功率半導(dǎo)體,兩者材料應(yīng)用有區(qū)別。

特別是碳化硅基氮化鎵,因此氮化鎵襯底實(shí)在太貴了,而且碳化硅和氮化鎵有非常優(yōu)異的晶格匹配度超過(guò)95%,因此碳化硅上能長(zhǎng)出高質(zhì)量的氮化鎵外延層,因此氮化鎵外延片把碳化硅當(dāng)做最好的襯底。


四、碳化硅功率器件的電氣性能優(yōu)勢(shì):


1. 耐壓高:臨界擊穿電場(chǎng)高達(dá)2MV/cm(4H-SiC),因此具有更高的耐壓能力(10倍于Si)。

2. 散熱容易:由于SiC材料的熱導(dǎo)率較高(是Si的三倍),散熱更容易,器件可工作在更高的環(huán)境溫度下。理論上,SiC功率器件可在175℃結(jié)溫下工作,因此散熱器的體積可以顯著減小。

3. 導(dǎo)通損耗和開(kāi)關(guān)損耗低:SiC材料具有兩倍于Si的電子飽和速度,使得SiC 器件具有極低的導(dǎo)通電阻(1/100 于Si),導(dǎo)通損耗低;SiC材料具有3倍于Si 的禁帶寬度,泄漏電流比Si 器件減少了幾個(gè)數(shù)量級(jí),從而可以減少功率器件的功率損耗;關(guān)斷過(guò)程中不存在電流拖尾現(xiàn)象,開(kāi)關(guān)損耗低,可大大提高實(shí)際應(yīng)用的開(kāi)關(guān)頻率(10 倍于Si)。

4. 可以減小功率模塊的體積:由于器件電流密度高(如Infineon 產(chǎn)品可達(dá)700A/cm),在相同功率等級(jí)下,全SiC 功率模塊(SiC MOSFETsSiC SBD)的封裝尺寸顯著小于Si IGBT 功率模塊。

主要缺點(diǎn)


肖特基二極管的主要缺點(diǎn)是反向電流相對(duì)較大。由于它的金屬-半導(dǎo)體結(jié),當(dāng)電壓反向連接時(shí),更容易產(chǎn)生泄漏電流。此外,肖特基二極管往往具有較低的最大反向電壓。它們的最大值往往為50V或更低。請(qǐng)記住,反向電壓是指當(dāng)電壓反向連接(從陰極到陽(yáng)極)時(shí),二極管將擊穿并開(kāi)始傳導(dǎo)大量電流的值。這意味著肖特基二極管不能承受很大的反向電壓而不擊穿和傳導(dǎo)大量電流。即使在達(dá)到最大反向值之前,它仍會(huì)泄漏少量電流。

根據(jù)電路的應(yīng)用和使用,這可能被證明是重要的或不重要的。

五、碳化硅的市場(chǎng)


根據(jù)市場(chǎng)調(diào)研的數(shù)據(jù),2021年碳化硅功率器件的市場(chǎng)規(guī)模超過(guò)10億美元,并預(yù)計(jì)到2025年,這個(gè)數(shù)字將超過(guò)37億美元,年復(fù)合增長(zhǎng)率(CAGR)超過(guò)34%。

另一家知名產(chǎn)業(yè)研究機(jī)構(gòu)也做出了類(lèi)似的判斷,認(rèn)為化合物半導(dǎo)體功率器件的市場(chǎng)規(guī)模將從2021年的9.8億美元,成長(zhǎng)至2025年的47.1億美元。碳化硅占據(jù)主要份額,2025年預(yù)計(jì)達(dá)到34億美元,略低于另一家的預(yù)測(cè)。

而在碳化硅功率器件的應(yīng)用領(lǐng)域中,新能源汽車(chē)是重中之重,2021年采購(gòu)量占全部用量的三分之二,之后這一比例還將逐漸提升,在2025年達(dá)到76%。

現(xiàn)在IGBT市場(chǎng)一年全球大約是80-110億美金,如果按照我的設(shè)想,降低到750美金的成本,吃掉增量市場(chǎng)就是30%,就有30多億美金了,如果降低到550億的成本, 能吃到存量市場(chǎng)至少要占50%以上,那是50多億美金。我認(rèn)為碳化硅會(huì)一直卷硅的IGBT/MOSFET,卷到到低于2000w產(chǎn)品,卷不動(dòng)為止,這至少有50%以上了,所以碳化硅干到50億美金的市場(chǎng)規(guī)模,我覺(jué)得未來(lái)是很有可能的。


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