中國科大在半導(dǎo)體p-n異質(zhì)結(jié)中實(shí)現(xiàn)光電流極性反轉(zhuǎn)
中國科大在半導(dǎo)體p-n異質(zhì)結(jié)中實(shí)現(xiàn)光電流極性反轉(zhuǎn)
來源：中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
近日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微電子學(xué)院龍世兵教授、孫海定研究員團(tuán)隊(duì)在氮化鎵（GaN）半導(dǎo)體p-n異質(zhì)結(jié)中實(shí)現(xiàn)了獨(dú)特的光電流極性反轉(zhuǎn)（即雙向光電流現(xiàn)象）。相關(guān)成果以“Bidirectional photocurrent in p–n heterojunction nanowires”為題于9月23日發(fā)表在《自然?電子學(xué)》上（Nature Electronics 2021, 4, 645–652）。這是中國科大首次以第一作者單位在電子器件領(lǐng)域知名期刊Nature Electronics上發(fā)表研究論文。
半導(dǎo)體p-n結(jié)具有獨(dú)特的整流特性，是眾多電子元器件的基本構(gòu)成單元，基于此所構(gòu)建的傳統(tǒng)固態(tài)光電探測器(solid-state photodetector)可將光信號捕獲并轉(zhuǎn)換為輸出電信號，被廣泛應(yīng)用于成像、傳感、探測等領(lǐng)域。然而，該類器件受限于傳統(tǒng)p-n結(jié)的工作機(jī)理，其工作特征須遵照以下原則：(1)入射光子能量大于半導(dǎo)體的帶隙；(2)在固定偏壓下，產(chǎn)生的光電流朝固定方向單向流動（單向光電流），這大大限制了其在特殊應(yīng)用場景（例如高分辨多色成像、生物光電檢測、便攜式小型光譜儀、多通道光通信和光邏輯運(yùn)算等）中的應(yīng)用。
近年來，脫離于經(jīng)典固態(tài)光電探測器的光電化學(xué)光探測器(photoelectrochemical photodetector: PEC PD)引起了人們的濃厚興趣，其工作過程不僅包含傳統(tǒng)半導(dǎo)體物理中載流子的產(chǎn)生、分離及傳輸過程，還涉及電子和空穴在半導(dǎo)體表面/電解液界面處的氧化/還原反應(yīng)過程。重要的是，在光電探測和傳感過程中，通過將化學(xué)反應(yīng)過程與經(jīng)典半導(dǎo)體物理過程相交叉，為操控載流子輸運(yùn)過程，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件中的電流信號多維度調(diào)控提供了新的自由度。因此，過去兩年多來，團(tuán)隊(duì)利用分子束外延（MBE）技術(shù)所制備的高晶體質(zhì)量氮化鎵（GaN）納米線，構(gòu)建了應(yīng)用于日盲紫外光探測領(lǐng)域的光電化學(xué)光探測器[Nano Letters 2021, 21, 120-129; Advanced Optical Materials 2021, 9, 2000893]。更進(jìn)一步，詳細(xì)討論了GaN基p-n結(jié)納米線內(nèi)部的電荷轉(zhuǎn)移動力學(xué)，并通過在半導(dǎo)體納米線表面修飾貴金屬納米顆粒，實(shí)現(xiàn)了電荷轉(zhuǎn)移動力學(xué)的可控調(diào)制及高效紫外光探測[Advanced Functional Materials 2021, 31, 2103007]。
圖1.器件工作原理示意圖
基于前期的工作積累，研究人員從GaN基半導(dǎo)體p-n異質(zhì)結(jié)能帶結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，MBE外延工藝探索及納米線形貌調(diào)控出發(fā)，結(jié)合DFT第一性原理理論計(jì)算優(yōu)化及半導(dǎo)體表面金屬鉑（Pt）納米顆粒定向修飾，成功構(gòu)建了基于p-AlGaN/n-GaN異質(zhì)p-n結(jié)的光譜可分辨型光電探測器[Nature Electronics 2021, 4, 645–652]。圖1為器件的工作原理示意圖。在固定偏壓下，該器件在兩種不同波長光的照射下展現(xiàn)出獨(dú)特的光電流極性反轉(zhuǎn)現(xiàn)象：在254nm光照下光電流為負(fù)電流，而在365nm光照下光電流為正電流。具體來說，為實(shí)現(xiàn)光電流極性反轉(zhuǎn)，特殊設(shè)計(jì)的頂部p-AlGaN被用于與底部n-GaN共同吸收波長254 nm的光（圖1b）。在254nm光照射下，p-AlGaN和n-GaN中同時(shí)產(chǎn)生電子-空穴對（圖1a）。其中，p-AlGaN在電解質(zhì)溶液中向下的表面能帶彎曲有利于其中的光生電子向納米線表面漂移，驅(qū)動質(zhì)子還原反應(yīng)，而光生空穴則向p-n結(jié)中的空間電荷區(qū)域遷移，與n-GaN產(chǎn)生的光生電子隧穿復(fù)合。與此同時(shí)，n-GaN中的光生空穴流經(jīng)外電路，表現(xiàn)出負(fù)的光電流信號。而當(dāng)納米線暴露在365nm光下時(shí)，因p-AlGaN不吸收365nm光照，僅有n-GaN吸收365nm光照后產(chǎn)生光生電子-空穴對。而后，由n-GaN在電解質(zhì)溶液中呈現(xiàn)的向上表面能帶彎曲作為驅(qū)動力，促使n-GaN中的光生空穴漂移到納米線/溶液界面并進(jìn)行水氧化反應(yīng)。同時(shí)，在表面能帶彎曲和p-n結(jié)內(nèi)建電場共同作用下，電子向外電路漂移，被記錄為正的光電流。更進(jìn)一步，理論計(jì)算證實(shí)：通過在半導(dǎo)體p-AlGaN表面修飾貴金屬Pt納米顆?？梢杂行Ц纳茪湮阶杂赡懿⑻岣吖怆娀瘜W(xué)光探測過程中的光生載流子分離效率。據(jù)此，研究人員利用光化學(xué)還原法，成功在納米線p-AlGaN（000-1）晶面定向修飾Pt納米顆粒（圖2b-d）。最終，在固定偏壓下，研究人員成功觀察到在不同波長光照下GaN基pn結(jié)納米線中的光電流極性反轉(zhuǎn)現(xiàn)象（圖2a）。
圖2.器件在不同波長光照下的光響應(yīng)性能（a）及Pt納米顆粒修飾p-n異質(zhì)結(jié)納米線形貌表征（b,c,d）
該新型器件架構(gòu)不僅克服了傳統(tǒng)固態(tài)p-n結(jié)光電探測器的功能限制，通過改變半導(dǎo)體材料本身帶隙（如組分調(diào)控等手段），還可以實(shí)現(xiàn)從深紫外到近紅外全光譜響應(yīng)覆蓋，有望為便攜式光譜儀、液體環(huán)境（如水下，生物體內(nèi)）光電探測和傳感、高分辨率多通道光電傳感器/成像設(shè)備、光控邏輯電路等未來新學(xué)科交叉領(lǐng)域帶來新的應(yīng)用突破。
中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微電子學(xué)院孫海定研究員為論文通訊作者，微電子學(xué)院博士生汪丹浩為論文第一作者，合肥微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心胡偉研究員，美國密歇根大學(xué)Mi Zetian教授，澳大利亞國立大學(xué)傅嵐教授（中國科大微電子學(xué)院客座教授）參與了項(xiàng)目的聯(lián)合攻關(guān)。此項(xiàng)研究工作得到了國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目、中科大雙一流建設(shè)經(jīng)費(fèi)、中央高?；究蒲谢鸬葘ｍ?xiàng)經(jīng)費(fèi)的資助，也得到了中國科大微電子學(xué)院、中國科大微納研究與制造中心、中國科大信息科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心、國家同步輻射實(shí)驗(yàn)室和中科院無線光電通信重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的支持。
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