中國 蘇州-半導體先進技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展和機遇大會【化合物研討會】于2023年5月23日在蘇州 獅山國際會議中心盛大開幕！
中國 蘇州-半導體先進技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展和機遇大會【化合物研討會】于2023年5月23日在蘇州 獅山國際會議中心盛大開幕！
本次會議共2日，2場主題論壇，60+專家智囊團， 70+參展商， 300+參會企業(yè)，北京華林嘉業(yè)科技有限公司（簡稱CGB）作為國內(nèi)高端濕法制程設備供應商，經(jīng)過十幾年經(jīng)驗沉淀，積累了雄厚的研發(fā)實力并保持持續(xù)創(chuàng)新能力，致力于為半導體濕法制程行業(yè)量身打造最優(yōu)方案而努力。CGB主要從事濕法制程設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品領(lǐng)域包括第三代半導體、半導體材料、功率器件、集成電路制造、微機電系統(tǒng)（MEMS)、5G化合物半導體、光通訊、新能源光伏、平板顯示、科研設備等領(lǐng)域。
過程清洗機CGB-WB200系列設備
該系列設備涵蓋Si/SiC襯底片加工全過程的清洗工藝，包括晶棒滾圓后的清洗、切片的脫膠與清洗、研磨片的清洗、拋光片的預清洗等工藝過程，同時包括了石英管清洗機、外延爐鐘罩清洗機等，為客戶提供襯底片加工過程的全線清洗工藝解決方案。各設備針對相應的工藝特點，制定了適當?shù)墓に囂幚聿酆颓逑垂に?，同時針對不同客戶，接受客戶的定制需求。
最終清洗機CGB-WB200系列設備
該系列設備為我公司開發(fā)的專利產(chǎn)品，專業(yè)應用于SiC襯底和SiC外延片最終清洗的工藝環(huán)節(jié)。設備涵蓋了全部的RCA清洗技術(shù)，包括SC1、SC2、SPM、HF等藥液，通過合理有效地藥液槽的布局排列，結(jié)合超聲(兆聲)技術(shù)，對SiC芯片的表面進行清洗處理；通過自主開發(fā)的控制軟件，有效地將多ROBOT運動軌跡，與清洗工藝有機結(jié)合，避免了交叉污染，保證了清洗工藝的順利實施。集成在線的甩干機或Marangoni dryer單元，保證了芯片干進干出，便于芯片進入下一工序。設備具備完善的安全防護設施，配備了10級FFU，用于十級或百級凈化間。整個清洗過程，不需要人為干預。已在國內(nèi)多家SiC生產(chǎn)龍頭企業(yè)使用，得到了用戶的全面認可，具有非常高的市占率。
展會期間，華林嘉業(yè)團隊成員對到訪參觀咨詢者進行詳細的講解和專業(yè)回答，以便各位咨詢者更深入的了解華林嘉業(yè)，同時也充分體現(xiàn)了我司售前及售后服務的專業(yè)度。我司展位號為C10，展會還火熱進行中，華林嘉業(yè)歡迎每位同仁的光臨及關(guān)注，誠摯的邀請您到訪參觀交流學習。
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