資本蜂擁的碳化硅襯底市場,各大項(xiàng)目進(jìn)展如何?
碳化硅作為第三代化合物半導(dǎo)體的重要代表,近年來已然成為企業(yè)重金押寶的一大熱門賽道。其中,碳化硅襯底雖然技術(shù)制程非常復(fù)雜,但其對碳化硅晶圓的產(chǎn)能有著至關(guān)重要的影響,且具有更高的產(chǎn)品附加值,國內(nèi)外企業(yè)紛紛加大對碳化硅襯底的研發(fā)和生產(chǎn)。
但TrendForce集邦咨詢分析指出,碳化硅等第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵襯底材料生長條件困難、工藝難度大、技術(shù)門檻高,將成為碳化硅下游產(chǎn)能的關(guān)鍵制約點(diǎn)。目前關(guān)鍵技術(shù)仍掌握在Wolfspeed、羅姆、II-VI、意法半導(dǎo)體等國際IDM大廠手中,國內(nèi)外技術(shù)仍存在不小的差距。
可喜的是,近幾年,國內(nèi)對第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的投資熱度居高不下。僅就碳化硅襯底而言,在2022年上半年,就有多家企業(yè)宣布加碼投資,而原有的碳化硅襯底項(xiàng)目也在2022年上半年取得新進(jìn)展。
01----2022年上半年
新增/規(guī)劃新增碳化硅襯底項(xiàng)目
襯底是碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈極為關(guān)鍵的一環(huán),國內(nèi)擁有相關(guān)技術(shù)的企業(yè)數(shù)量并不多。且半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自身存在高風(fēng)險(xiǎn)、高投入、高技術(shù)門檻、長周期等特點(diǎn),產(chǎn)業(yè)布局需要有序推進(jìn),企業(yè)在擴(kuò)產(chǎn)時(shí)更需冷靜,因此,2022年上半年新增/規(guī)劃新增的碳化硅項(xiàng)目并不多。
據(jù)化合物半導(dǎo)體市場不完全統(tǒng)計(jì),2022年上半年,國內(nèi)新增/規(guī)劃新增的碳化硅襯底項(xiàng)目主要有:
圖表1.2022年上半年國內(nèi)新增/規(guī)劃新增
的碳化硅襯底項(xiàng)目(金額單位為:億元)
其中,晶盛機(jī)電在2022年3月宣布將碳化硅襯底晶片生產(chǎn)基地項(xiàng)目從增發(fā)預(yù)案中刪除,后續(xù)擬使用自有資金及其他融資方式投入,不影響未來碳化硅整體布局和發(fā)展。
晶盛機(jī)電原擬募資不超過57億元,投向碳化硅襯底晶片生產(chǎn)基地項(xiàng)目、12英寸集成電路大硅片設(shè)備測試實(shí)驗(yàn)線項(xiàng)目、年產(chǎn)80臺(tái)套半導(dǎo)體材料拋光及減薄設(shè)備生產(chǎn)制造項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。
據(jù)悉,晶盛機(jī)電創(chuàng)建于2006年12月,目前已組建原料合成+長晶+切磨拋的中試產(chǎn)線,,并完成6-8英寸長晶熱場和設(shè)備開發(fā),產(chǎn)出6英寸襯底,在總厚度變化率(TTV)可穩(wěn)定達(dá)到<3μm。
另一方面,在新增/規(guī)劃新增項(xiàng)目之外,原有的碳化硅襯底項(xiàng)目也在2022年上半年迎來新進(jìn)展。
02---碳化硅襯底項(xiàng)目喜迎新進(jìn)展
據(jù)化合物半導(dǎo)體市場不完全統(tǒng)計(jì),2022年上半年公布新進(jìn)展的碳化硅襯底項(xiàng)目主要有:
圖表2.2022年上半年碳化硅襯底項(xiàng)目進(jìn)展
其中,天岳先進(jìn)是國內(nèi)“碳化硅第一股”,其山東濟(jì)南、濟(jì)寧的碳化硅襯底生產(chǎn)基地主要生產(chǎn)半絕緣型襯底;上海臨港項(xiàng)目則定位為6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底生產(chǎn)基地,滿足下游電動(dòng)汽車、新能源并網(wǎng)、智能電網(wǎng)、儲(chǔ)能、開關(guān)電源等碳化硅電力電子器件應(yīng)用領(lǐng)域的廣泛需求。
值得一提的是,上海臨港項(xiàng)目已納入國家布局,且被上海市政府列為2021年、2022年上海市重大建設(shè)項(xiàng)目。
天科合達(dá)于2006年9月由新疆天富集團(tuán)、中國科學(xué)院物理研究所共同設(shè)立。公司總部位于北京市大興區(qū),擁有一個(gè)研發(fā)中心和一個(gè)集晶體生長-晶體加工-晶片加工-清洗檢測于一體的全套碳化硅晶片生產(chǎn)基地;全資子公司新疆天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司位于新疆石河子市,主要進(jìn)行碳化硅晶體生長。
目前,天科合達(dá)已重啟IPO,現(xiàn)正接受中金公司的上市輔導(dǎo)。
露笑科技自2020年以來先后兩次募資,均投向碳化硅項(xiàng)目。第一次是在2020年4月,于2021年3月完成,實(shí)際募集資金6.43億元,投向新建碳化硅襯底片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、碳化硅研發(fā)中心項(xiàng)目和償還銀行貸款。
2021年11月,露笑科技發(fā)布了《2021年度非公開發(fā)行A股股票預(yù)案》。2022年5月16日,該預(yù)案獲審核通過,露笑科技擬募資25.67億,用于第三代功率半導(dǎo)體(碳化硅)產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目、大尺寸碳化硅襯底片研發(fā)中心項(xiàng)目和補(bǔ)充流動(dòng)資金。
對于前后兩次募投項(xiàng)目的區(qū)別,露笑科技表示,2021年的募投項(xiàng)目是前次募投項(xiàng)目的延伸與拓展。據(jù)悉,露笑科技在2020年度募資建設(shè)6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片和4英寸半絕緣型碳化硅襯底片項(xiàng)目的基礎(chǔ)上,擬再次通過非公開發(fā)行股票的方式,募集資金擴(kuò)大6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片的產(chǎn)能規(guī)模。
項(xiàng)目進(jìn)度方面,2022年4月1日晚,露笑科技在披露增發(fā)事項(xiàng)的二次反饋意見回復(fù)中提及,“新建碳化硅襯底片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”“碳化硅研發(fā)中心項(xiàng)目”兩個(gè)募投項(xiàng)目正在有序推進(jìn)中,進(jìn)度符合預(yù)期。
03---SiC市場將迎高速成長
國內(nèi)廠商存廣闊替代空間
第三代半導(dǎo)體被賦予戰(zhàn)略意義,并在2021年列入十四五規(guī)劃后,迅速成為超級(jí)風(fēng)口。其中,碳化硅作為第三代半導(dǎo)體的“課代表”,市場發(fā)展十分迅速。
碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中,襯底材料技術(shù)難度高、成本占比高。就發(fā)展水平而言,盡管目前國內(nèi)在襯底環(huán)節(jié)已涌現(xiàn)出不少有代表性的企業(yè),但國內(nèi)外在碳化硅襯底方面存在的技術(shù)差距,卻非一朝一夕可以逆轉(zhuǎn)。
據(jù)化合物半導(dǎo)體市場了解,目前國內(nèi)主要以4英寸碳化硅襯底為主,部分企業(yè)雖已在6英寸領(lǐng)域取得突破,但良率仍存在差距;國際一線大廠則以6英寸為主,多家廠商已實(shí)現(xiàn)了6英寸碳化硅襯底的穩(wěn)定供應(yīng)。
差距在8英寸碳化硅襯底上更為明顯。
國際企業(yè)方面,Wolfspeed、羅姆、II-VI均在2015年就已展示了8英寸碳化硅襯底,其中Wolfspeed還在2019年5月宣布投入10億美元(約64.6億人民幣)建設(shè)新工廠,并在今年4月開始生產(chǎn)8英寸碳化硅等產(chǎn)品;英飛凌在2020年9月宣布其8英寸 SiC晶圓生產(chǎn)線已經(jīng)建成;羅姆旗下SiCrystal公司預(yù)計(jì)2023年左右開始量產(chǎn)8英寸襯底、2025年量產(chǎn)8英寸SiC器件;Soitec在2022年5月發(fā)布了8英寸碳化硅襯底產(chǎn)品,其還在2022年3月啟動(dòng)新晶圓廠建設(shè)計(jì)劃,將用于6英寸、8英寸SmartSiC晶圓制造,預(yù)計(jì)2023年下半年建成投產(chǎn)...
可以看到,國際企業(yè)對于8英寸碳化硅襯底的量產(chǎn)已提上日程。相較之下,天科合達(dá)、天岳先進(jìn)、中科院物理研究所等中國企業(yè)/科研機(jī)構(gòu)則仍處于8英寸碳化硅襯底的研發(fā)階段。
但也有例外。2020年10月,據(jù)山西日報(bào)報(bào)道,中電科旗下山西爍科晶體公司完全掌握4-6英寸襯底片“切、磨、拋”工藝,同時(shí)8英寸襯底片已經(jīng)研發(fā)成功;2022年1月,爍科晶體實(shí)現(xiàn)8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn)。
可以看到,盡管存在差距,但中國正在加速追趕。另一方面,盡管碳化硅在5G、雷達(dá)、國防軍工、新能源汽車、光伏、軌道交通、儲(chǔ)能等領(lǐng)域的應(yīng)用前景十分廣闊,但碳化硅的下游應(yīng)用目前大多處于研發(fā)階段,碳化硅襯底現(xiàn)正處于爆發(fā)式增長的前夜,大量資金在此刻涌入,有望縮短中外之間存在的技術(shù)差距,在碳化硅實(shí)現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用之時(shí),在一定程度上實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代。
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