從0到1！玻璃襯底上首次“異質(zhì)外延”出準(zhǔn)單晶氮化鎵薄膜
從0到1！玻璃襯底上首次“異質(zhì)外延”出準(zhǔn)單晶氮化鎵薄膜
來源：化合物半導(dǎo)體市場
8月1日，據(jù)科技日報消息，中國科學(xué)院院士、北京大學(xué)/北京石墨烯研究院院長劉忠范與中科院半導(dǎo)體所研究員劉志強、北京大學(xué)物理學(xué)院研究員高鵬等合作，提出了一種納米柱輔助的范德華外延方法，國際上首次在玻璃襯底上成功異質(zhì)外延出連續(xù)平整的準(zhǔn)單晶氮化鎵薄膜，并制備了藍光發(fā)光二極管（LED）。
劉忠范表示，這一成果是典型的”從0到1“式的原創(chuàng)性突破。
據(jù)悉，此項研究是利用石墨烯的晶格來引導(dǎo)氮化物的晶格排列，在非晶玻璃上實現(xiàn)了氮化物的外延，得到了高質(zhì)量的準(zhǔn)單晶薄膜。他們進一步生長了藍光LED結(jié)構(gòu)，其內(nèi)量子效率高達48.7%。此外，他們充分利用界面處弱的范德華作用力，將生長的外延結(jié)構(gòu)機械剝離并制備了柔性的LED樣品。
劉忠范稱，這項研究為石墨烯等二維材料的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用提供了新思路，有望發(fā)展為氮化物變革性制備技術(shù)，解決先進半導(dǎo)體發(fā)展技術(shù)瓶頸，在新型顯示、柔性電子學(xué)等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用前景。
同時，該技術(shù)通過異質(zhì)外延減弱了氮化物對單晶襯底的依賴，對于擴大半導(dǎo)體外延襯底選擇范圍、豐富半導(dǎo)體異質(zhì)外延概念、實現(xiàn)面向后摩爾時代的片上物質(zhì)組裝和異構(gòu)集成，具有重要意義。
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