記者了解獲悉,中微公司CCP已進(jìn)入5nm以下晶圓生產(chǎn)線, Primo nanova ICP單臺(tái)機(jī)訂單年增長超過100%。上半年刻蝕設(shè)備收入為12.99億元,同期增長約51.48%,毛利率達(dá)到46.05%。
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