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WLCSP晶圓級芯片封裝技術(shù)

發(fā)布時間:2023-03-15發(fā)布人:

一、WLP晶圓級封裝VS傳統(tǒng)封裝


在傳統(tǒng)晶圓封裝中,是將成品晶圓切割成單個芯片,然后再進行黏合封裝。不同于傳統(tǒng)封裝工藝,晶圓級封裝是在芯片還在晶圓上的時候就對芯片進行封裝,保護層可以黏接在晶圓的頂部或底部,然后連接電路,再將晶圓切成單個芯片。


相比于傳統(tǒng)封裝,晶圓級封裝具有以下優(yōu)點:


1、封裝尺寸小

由于沒有引線、鍵合和塑膠工藝,封裝無需向芯片外擴展,使得WLP的封裝尺寸幾乎等于芯片尺寸。


2、高傳輸速度

與傳統(tǒng)金屬引線產(chǎn)品相比,WLP一般有較短的連接線路,在高效能要求如高頻下,會有較好的表現(xiàn)。


3、高密度連接

WLP可運用數(shù)組式連接,芯片和電路板之間連接不限制于芯片四周,提高單位面積的連接密度。


4、生產(chǎn)周期短

WLP從芯片制造到、封裝到成品的整個過程中,中間環(huán)節(jié)大大減少,生產(chǎn)效率高,周期縮短很多。


5、工藝成本低

WLP是在硅片層面上完成封裝測試的,以批量化的生產(chǎn)方式達到成本最小化的目標。WLP的成本取決于每個硅片上合格芯片的數(shù)量,芯片設計尺寸減小和硅片尺寸增大的發(fā)展趨勢使得單個器件封裝的成本相應地減少。WLP可充分利用晶圓制造設備,生產(chǎn)設施費用低。


二、晶圓級封裝的工藝流程



WLP工藝流程


晶圓級封裝工藝流程如圖所示:


1、涂覆第一層聚合物薄膜,以加強芯片的鈍化層,起到應力緩沖的作用。聚合物種類有光敏聚酰亞胺(PI)、苯并環(huán)丁烯(BCB)、聚苯并惡唑(PBO)。


2、重布線層(RDL)是對芯片的鋁/銅焊區(qū)位置重新布局,使新焊區(qū)滿足對焊料球最小間距的要求,并使新焊區(qū)按照陣列排布。光刻膠作為選擇性電鍍的模板以規(guī)劃RDL的線路圖形,最后濕法蝕刻去除光刻膠和濺射層。


3、涂覆第二層聚合物薄膜,是圓片表面平坦化并保護RDL層。在第二層聚合物薄膜光刻出新焊區(qū)位置。


4、凸點下金屬層(UBM)采用和RDL一樣的工藝流程制作。


5、植球。焊膏和焊料球通過掩膜板進行準確定位,將焊料球放置于UBM上,放入回流爐中,焊料經(jīng)回流融化與UBM形成良好的浸潤結(jié)合,達到良好的焊接效果。


三、晶圓級封裝的發(fā)展趨勢


隨著電子產(chǎn)品不斷升級換代,智能手機、5G、AI等新興市場對封裝技術(shù)提出了更高要求,使得封裝技術(shù)朝著高度集成、三維、超細節(jié)距互連等方向發(fā)展。晶圓級封裝技術(shù)可以減小芯片尺寸、布線長度、焊球間距等,因此可以提高集成電路的集成度、處理器的速度等,降低功耗,提高可靠性,順應了電子產(chǎn)品日益輕薄短小、低成本的發(fā)展要需求。


晶圓級封裝技術(shù)要不斷降低成本,提高可靠性水平,擴大在大型IC方面的應用:

1、通過減少WLP的層數(shù)降低工藝成本,縮短工藝時間,主要是針對I/O少、芯片尺寸小的產(chǎn)品。

2、通過新材料應用提高WLP的性能和可靠度。主要針對I/O多、芯片尺寸大的產(chǎn)品。



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