這家SiC企業(yè)也擴(kuò)產(chǎn)!6英寸、6萬(wàn)片
來(lái)源 第三代半導(dǎo)體風(fēng)向
昨天,“三代半風(fēng)向”獲得一份招標(biāo)書(shū),其中顯示,河北將建一個(gè)6英寸碳化硅外延片生產(chǎn)基地,投資額約1.8億元,年產(chǎn)能6萬(wàn)片。
碳化硅外延擴(kuò)建年產(chǎn)能6萬(wàn)片
8月12日,河北普興電子科技股份有限公司公布了“搬遷項(xiàng)目監(jiān)理公開(kāi)招標(biāo)公告”,招標(biāo)金額210萬(wàn)元。
公告提到,該項(xiàng)目將建設(shè)“6英寸碳化硅外延以及8英寸硅外延生產(chǎn)基地”,總建筑面積約為63915.23㎡,投資總額1.8億元,項(xiàng)目已由河北石家莊鹿泉經(jīng)開(kāi)區(qū)批準(zhǔn)建設(shè)。
另一份招標(biāo)信息顯示,普興電子計(jì)劃對(duì)現(xiàn)有碳化硅外延生產(chǎn)線進(jìn)行升級(jí)改造,建設(shè)一條6英寸碳化硅外延片批量生產(chǎn)線,實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)6英寸碳化硅外延片6萬(wàn)片的生產(chǎn)能力,將采購(gòu)主要生產(chǎn)設(shè)備碳化硅外延爐15臺(tái)及配套測(cè)試儀器等。
據(jù)介紹,普興電子是中國(guó)電子科技集團(tuán)第13研究所的控股公司,從1963年開(kāi)始進(jìn)行半導(dǎo)體硅基外延材料的技術(shù)研究,年產(chǎn)各種硅基外延片600多萬(wàn)片,是國(guó)內(nèi)最大的硅基外延材料供應(yīng)商。
在碳化硅方面,據(jù)介紹,2018年普興電子就搭建了碳化硅外延生產(chǎn)和測(cè)試平臺(tái),2019年率先在河北省實(shí)現(xiàn)6英寸碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)化,2020年開(kāi)發(fā)了快速碳化硅外延生長(zhǎng)工藝,單臺(tái)設(shè)備產(chǎn)能提高20%以上。
備案信息顯示,2020年普興電子就在著手加快碳化硅外延產(chǎn)業(yè)化。
此前,普興電子還打算介入碳化硅單晶生長(zhǎng)領(lǐng)域,計(jì)劃發(fā)展成為從碳化硅單晶生長(zhǎng)、碳化硅外延片直至芯片加工的全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)企業(yè),例如2017年5月23日,普興電子的“碳化硅單晶產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”備案獲得批復(fù)。
不過(guò),據(jù)“三代半風(fēng)向”了解,出于資源優(yōu)化考慮,中電科集團(tuán)對(duì)普興的碳化硅單晶項(xiàng)目進(jìn)行了調(diào)整,讓普興電子專注碳化硅外延,而碳化硅單晶和碳化硅芯片將由集團(tuán)其他子公司專門(mén)負(fù)責(zé)。
中電科的全產(chǎn)業(yè)鏈布局
據(jù)“三代半風(fēng)向”調(diào)研了解,中電科集團(tuán)已經(jīng)完成了碳化硅的全產(chǎn)業(yè)鏈布局,其相關(guān)子公司已經(jīng)在設(shè)備、襯底、外延、器件等環(huán)節(jié)建樹(shù)頗多。
碳化硅襯底方面,他們主要依托于山西爍科晶體。
據(jù)介紹,2018年,中電科就在山西簽約布局碳化硅項(xiàng)目;2019年4月,中國(guó)電科(山西)碳化硅產(chǎn)業(yè)基地一期項(xiàng)目于開(kāi)工建設(shè),實(shí)施主體就是爍科晶體。2020年2月底,一期項(xiàng)目正式投產(chǎn),300臺(tái)設(shè)備同時(shí)啟動(dòng),月產(chǎn)1200塊碳化硅單晶。
據(jù)《山西日?qǐng)?bào)》4月15日?qǐng)?bào)道,2020年,山西爍科晶體碳化硅襯底年產(chǎn)能已達(dá)10萬(wàn)片,銷(xiāo)售3萬(wàn)片以上。
中電科集團(tuán)還有多個(gè)子公司涉及碳化硅器件領(lǐng)域,其中包括中電科13所。
2018年6月13日,中電科13所的“碳化硅電力電子器件芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”獲得了石家莊高新區(qū)備案批復(fù)。
而碳化硅封裝則是同輝電子負(fù)責(zé)。據(jù)介紹,同輝電子成立于2007年,與普興電子同屬于中電科13所控股企業(yè)。
2020年,同輝電子的“碳化硅封裝線”項(xiàng)目已經(jīng)竣工投產(chǎn)。在此之前,同輝電子還有多個(gè)碳化硅項(xiàng)目備案:
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