全自動(dòng)單片去膠清洗機(jī)主要用于6、8英寸晶圓上光刻膠去除或金屬膜剝離。
設(shè)備主要由浸泡腔、去膠(剝離)腔體、清洗干燥腔體、升降掃描擺臂模塊、上下料臺(tái)模塊、對(duì)中模塊、高壓液體供應(yīng)系統(tǒng)、常壓供排液系統(tǒng)、空氣凈化及靜電消除系統(tǒng)、安全消防系統(tǒng)、中央控制系統(tǒng)等組成。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
1. 兼容多種規(guī)格尺寸的晶圓
2. 可控高壓剝離技術(shù)
3. 采用干進(jìn)干出加工模式
4. 化學(xué)液循環(huán)再利用
5. 貴金屬收集回收
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