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1. 工作流程

生產(chǎn)主線為：腐蝕槽1、沖水槽2、輕刻槽3、沖水槽4、上下料臺，共4個清洗工位。右進右出設(shè)備。本設(shè)備電氣控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及背部設(shè)有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的全自動控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上下料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序?qū)M行各工藝處理。

2. 清潔能力

6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette；

3. 產(chǎn)品優(yōu)勢

1) 高效清洗：?能夠快速徹底地去除超薄片材料表面的污漬和微小顆粒，?保證清洗質(zhì)量。?

2) 無死角清洗：?能夠?qū)崿F(xiàn)360度無死角清洗，?確保清洗效果均勻一致。?

3) 適用于大批量生產(chǎn)：?操作簡單，?性能穩(wěn)定，?適合大批量連續(xù)生產(chǎn)，?提高生產(chǎn)效率。?

4) 節(jié)能環(huán)保：?采用壓縮機制冷，?高達93%的回收率，?有效降低使用成本，?同時提高產(chǎn)品的綜合市場競爭力。?

5) 智能化設(shè)計：?具備產(chǎn)能等智能化計數(shù)功能，?采用機械手操作、?PLC控制，?減輕員工勞動強度，?減少人力資源，?提高競爭優(yōu)勢。?

6) 高效組合清洗：?采用超聲波清洗+噴淋清洗的高效率清洗組合，?可有效去除微米單位的粒子，?確保清洗效果。

4. 產(chǎn)品特點

1) 工藝說明: 自動傳動，自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進行作業(yè)，這個過程全自動進行；

2) 全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產(chǎn)品性能的一致性；

3) 搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩(wěn)；

4) 搬運機械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；

5) 溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；

6) 工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；

7) 整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等；

8) 整機采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；

9) 整機采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；

10) 整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；

11) 機臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個），并按照標準設(shè)置接地保護斷路器；

12) 整機前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計，便于排液，處設(shè)有漏液報警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時沖洗；

13) 清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設(shè)計，防止溶劑混用；

14) 設(shè)計合理化的排風管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；

15) 設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；

16) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn)，至少需要三面溢流；

17) 軟件具有防呆功能；

18) 搬運機械手臂設(shè)有防夾防撞預警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；

19)   設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護、維修的窗口；

20) 機臺上下料區(qū)配水***2把；

21) 機臺排風口處安裝排風壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；

22)   機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；

23)  工藝槽槽底傾斜式，便于排空；

24) Cassette transfer time < 5sec；

25) 機臺電器部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；

26) 具有作業(yè)記錄功能，可以 USB 接口 U 盤調(diào)取，配置攝像頭，并配置硬盤用于視頻保存，視頻保留時間不少于 30 天；

27) 兩個藥業(yè)槽工藝時間到后有聲光提示；

28) 機臺地腳做防腐處理：1.噴防腐漆，2.增加PP防護盒；

29) 供液系統(tǒng)人工換桶時防止廢液回流，加裝收集桶；

30) 機臺具備漏液監(jiān)測功能，如發(fā)生漏液報警時自動關(guān)閉排液功能；

31)  Cassette搬運使用工裝方式；

5. 安裝及售后

1) 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗、業(yè)務精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設(shè)備。

2) 為用戶工廠操作工提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。

3) 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時內(nèi)電話支持服務，24小時到現(xiàn)場反應時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務后24小時內(nèi)到達現(xiàn)場。

4) 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。