槽式濕法制程設備
產(chǎn)品詳情
1. 工作原理
全自動GAN去光阻清洗機的工作原理主要利用激光吸附、?瞬時膨脹和易離化，?以及沖擊清理的過程進行表面清洗。??其工作原理通常包含以下三個主要過程：?
1) 激光吸附：?將激光束照射到工件表面時，?激光能量被工件表面的有機和無機雜質(zhì)吸收。?這些雜質(zhì)吸收的激光能量將其加熱至瞬態(tài)高溫狀態(tài)，?部分燃燒成為氣態(tài)，?形成氣體等離子體區(qū)域，?從而利用這一現(xiàn)象將工件表面的雜質(zhì)清除。?
2) 瞬時膨脹和易離化：?當表面雜質(zhì)被加熱時，?它們以非常快的速度從表面膨脹開來。?這個過程稱為瞬時膨脹和易離化。?在加熱和膨脹后，?雜質(zhì)在空氣中形成一個氣囊環(huán)，?達到其容量的兩倍以上，?同時變得容易剝離。?
3) 沖擊清理：?利用氣囊環(huán)，?激光清洗機使用高壓氣體噴嘴來打破氣囊區(qū)域，?將雜質(zhì)從表面沖走。?這種方法使用高能激光深入雜質(zhì)表面，?同時對工件表面造成的破壞非常小。?
2. 工作流程
生產(chǎn)主線為：上料臺、超聲循環(huán)溢流槽1、循環(huán)溢流槽2、循環(huán)溢流槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺，共5個制程工位。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的自動控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序?qū)M行各個工位進行相應的處理。
3. 清潔能力
4 inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；6 inch 1 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
4. 產(chǎn)品優(yōu)勢
1) 高效性：?全自動GaN去光阻清洗機采用多槽體、?多工序設計，?能夠一次性完成多個清洗步驟，?大大提高了清洗效率。?
2) 環(huán)保性：?采用非接觸式清洗方式，?減少了對GaN晶片的磨損和損傷，?同時減少了水資源的浪費和污水排放。?設備還設有循環(huán)過濾和回收系統(tǒng)，?保證了清洗溶液的清潔度，?降低了生產(chǎn)成本。?
3) 穩(wěn)定性：?設備采用PLC工控機程序控制，?全自動輸送方式，?運行平穩(wěn)快捷。?同時，?設備具有自我診斷功能，?能夠在出現(xiàn)故障時自動停機并報警，?確保了生產(chǎn)安全。?
4) 靈活性：?各槽清洗時間可以根據(jù)需要進行設定和調(diào)整，?以適應不同的清洗需求。?
5) 高精度：?對于GaN晶片的清洗，?全自動GaN去光阻清洗機能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的清洗效果，?確保晶片表面的光阻層被徹底去除。?
5. 產(chǎn)品特點
1) 工藝說明: 自動傳動，自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進行作業(yè)，這個過程全自動進行；
2) 全程自動化控制，工藝 過程中沒有人工干預，保證產(chǎn)品性能的一致性；
3) 搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結構及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩(wěn)；
4) 搬運機械手臂單獨急停、暫停開關、系統(tǒng)急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
5) 搬運機械手運行平穩(wěn)，帶有過載和過流保護，工藝槽發(fā)生異常報警需將工藝槽產(chǎn)品放置到溢流槽保護并立即啟動報警（手臂故障需要立即發(fā)出報警并不可消除）；當工裝出現(xiàn)意外情況時程序自動將藥液排空注入DIW稀釋救貨；
6) 工藝槽設有花籃物理檢測裝置，防止壓籃；
7) 溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
8) 優(yōu)化配管設置，節(jié)約DIW消耗量；
9) 工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；
10) 整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
11) 整機采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；
12) 整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
13) 整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
14) 機臺設有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設備兩端各一個），并按照標準設置接地保護斷路器；
15) 整機前后區(qū)隔離，底板傾斜設計，便于排液，處設有漏液報警，前后區(qū)域均設水槍，確保漏液及時沖洗；
16) 清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；
17) 設計合理化的排風管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；
18) 設備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內(nèi)部；
19) 廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
20) 設備內(nèi)廢氣總管路可用維護區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入酸堿廢液總管；
21) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn)，至少需要三面溢流；
22) 搬運機械手抓驅(qū)動部分為電機馬達驅(qū)動完成動作并配有傳感器實時監(jiān)測,抓取部位設有防壓框傳感器,檢測抓取成功與否；
23) 搬運機械手臂設有防夾防撞預警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；
24) 工藝槽工作區(qū)域與機臺控制外配有安全監(jiān)測裝置，防止搬運機械手對操作人員的意外損傷；
25) 設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口；
26) 機臺上料下料區(qū)各配水***2把；
27) 機臺排風口處安裝排風壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
28) 機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
29) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
30) 根據(jù)工藝要求選擇配套UPS電源（15-20min）；
31) 排風調(diào)節(jié)板根據(jù)風壓可自動調(diào)節(jié)；
6. 安裝及售后
1) 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗、業(yè)務精湛的技術人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設備。
2) 為用戶工廠操作工提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。
3) 無償提供為期一年的技術支持與服務，一年后繼續(xù)提供終身技術服務。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時內(nèi)電話支持服務，24小時到現(xiàn)場反應時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務后24小時內(nèi)到達現(xiàn)場。
4) 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。
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