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1. 工作原理

通過不同的藥液和超聲波處理，?以達(dá)到清洗和去除污染物的目的。

? ?首先，?該設(shè)備通過H2O超聲槽和界面活化劑槽等工位，?利用超聲波技術(shù)對磨片進(jìn)行初步的清洗和處理。?這一步驟有助于松動和去除附著在磨片表面的污垢和雜質(zhì)。

? ?接著，?設(shè)備進(jìn)入HCL槽，?這個步驟通常涉及到使用酸性溶液，?如鹽酸（?HCL）?，?以進(jìn)一步去除難以清除的污染物，?可能包括金屬氧化物或其他難以溶解的物質(zhì)。?

? 最后，?通過多個H2O超聲槽和界面活化劑槽的組合，?以及背部的吸風(fēng)口設(shè)計，?該設(shè)備能夠有效地去除磨片上的污染物，?同時防止污染空氣，?確保清洗過程的環(huán)保和安全。

2. ? 工作流程

生產(chǎn)主線：H2O超聲槽1、界面活化劑槽2、H2O超聲槽3、界面活化劑槽4、H2O超聲槽5、HCL槽6、H2O超聲槽7，共7個制程工位。?整個清洗過程由PLC控制系統(tǒng)全程控制，?操作者只需將清洗花籃放置于上料工位，?機(jī)械手會根據(jù)預(yù)先設(shè)定的程序?qū)⒒ɑ@輸送到各個工位進(jìn)行相應(yīng)的處理。

3. 清洗能力

12inch ；  2 cassette / Batch  13 Pcs/cassette；

4. 產(chǎn)品優(yōu)勢

l 高效：?該設(shè)備通過采用先進(jìn)的超聲波清洗技術(shù)，?能夠?qū)崿F(xiàn)360度無死角清洗，?顯著提升清洗速度，?適合大批量生產(chǎn)，?從而大幅提高清洗效率。?

l 自動化：?設(shè)備采用人機(jī)界面（?觸摸屏）?加PLC控制的全自動控制系統(tǒng)，?操作者只需將清洗花籃放置于上料工位，?由PLC控制的機(jī)械手將花籃輸送到各個工位，?按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各工藝處理，?實現(xiàn)了全自動化操作。?

l 環(huán)保節(jié)能：?通過在全真空環(huán)境下利用碳?xì)淙軇┗蚋男源既軇┳鳛榍逑唇橘|(zhì)，?結(jié)合不同的清洗及干燥方式，?實現(xiàn)了節(jié)能環(huán)保，?臨“0”排放。?

l 高精度：?針對半導(dǎo)體行業(yè)的高精度設(shè)計，?搭載自動對焦、?自動對準(zhǔn)、?刀痕識別及崩邊檢測等圖像處理功能，?確保了清洗和切割的高精度。??

l 性能可靠：?電器控制部分關(guān)鍵件采用進(jìn)口件，?性能可靠，?使用壽命長；?背部設(shè)有吸風(fēng)口，?防止污染空氣，?需外接風(fēng)管抽風(fēng)。?

l 應(yīng)用廣泛：?適用于半導(dǎo)體行業(yè)的高精度清洗和切割需求，?能夠?qū)崿F(xiàn)無人化值守，?并可遠(yuǎn)程監(jiān)控完成。

5. 產(chǎn)品特點

1) 工藝說明: 自動傳動，自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個過程全自動進(jìn)行；

2) 全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；

3) 搬運機(jī)械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；

4) 搬運機(jī)械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；

5) 溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；

6) 工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；

7) 整機(jī)在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；

8) 整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；

9) 整機(jī)采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；

10) 整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；

11) 機(jī)臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；

12) 整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計，便于排液，處設(shè)有漏液報警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時沖洗；

13) 清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計，防止溶劑混用；

14) 設(shè)計合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；

15) 設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；

16) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn)，至少需要三面溢流；

17) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；

18) 機(jī)臺上料下料區(qū)各配水***2把；

19) 機(jī)臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；

20) 機(jī)臺總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；

21) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；

22) 機(jī)臺電器部分具備正壓N2保護(hù)，防止腐蝕；

6. 安裝及售后

1) 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設(shè)備。

2) 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。

3) 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時到現(xiàn)場反應(yīng)時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務(wù)后24小時內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場。

4) 可提供隨機(jī)備件、易損品及隨機(jī)工具。