產(chǎn)品中心
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- 全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)
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全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)
產(chǎn)品詳情
一、全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)的優(yōu)勢
1.中心對齊準(zhǔn)確性高
晶片的中心對齊（centering）在雄飛自主設(shè)計(jì)的傳送機(jī)械臂上進(jìn)行，使得切削 精度飛躍性地提高，其加工精度為±30μm。
由于中心對齊準(zhǔn)確性高，完成加工后，可實(shí)現(xiàn)notch或定位邊的精確晶向定位。
2.耗材使用壽命更長
由于中心對齊的精確度高，加工時(shí)能夠控制好去除量，不會(huì)過度切削。 因此可減少砂輪磨損程度，提高砂輪使用壽命，最大限度縮短為更換砂輪而停機(jī) 的時(shí)間長度。
3.高產(chǎn)出
具備2個(gè)加工軸，可獨(dú)立控制，因此也可1軸單獨(dú)加工。 與單軸設(shè)備相比，雙軸設(shè)備可將加工效率提高20%。
YH-8800基本規(guī)格
二、全自動(dòng)機(jī)型（Cassette to Cassette）
晶片尺寸 ：φ6”～φ8”
晶片厚度：0.25mm～2.0mm（可加工定位邊以及notch）
加工軸數(shù)：2個(gè)（獨(dú)立控制）
砂輪溝數(shù)：根據(jù)客戶要求定制
砂輪尺寸：外徑φ200mm 內(nèi)徑φ30mm （Notch部分：外徑 3mm）
砂輪轉(zhuǎn)速：外周 1,000mm～5,000m/min （變頻控制）
切削速度：圓周 1mm～50mm/sec 定位邊 1mm～20mm/sec
※可對各項(xiàng)目的參數(shù)進(jìn)行設(shè)定
三、加工精度
直徑 ：≦±10μm
定位邊寬度 ：≦±25μm
定位邊方向 ：≦±0.03°
直線性 ：≦5μm
圓形度 :≦10μm
面寬 ：±30μm以內(nèi)
四、尺寸及重量
尺寸：寬2400×深1680×高1995 (mm)
重量：約2,000kg
（設(shè)備周圍應(yīng)留有至少50cm的操作空間）
五、加工流程
放置片盒 →機(jī)械臂取片 →測量厚度 →機(jī)械臂取片 →轉(zhuǎn)移到切削平臺(tái) →使晶片中心對齊并檢測定位邊的晶向 →開始加工 →機(jī)械臂取片 →旋轉(zhuǎn)清洗 →機(jī)械臂取片 →下料
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