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       據(jù)中國科學院官網(wǎng)消息，近日，由中國科學院西安光機所承擔的“國家雙創(chuàng)示范基地雙創(chuàng)支撐平臺建設項目——陜西光電子集成電路先導技術中試平臺”通過總體驗收。

圖片來源：中國科學院官網(wǎng)

       中國科學院官網(wǎng)介紹稱，西安光機所于2017年獲批國家 “第二批大眾創(chuàng)業(yè)萬眾創(chuàng)新示范基地”，并于2019年5月獲得“國家雙創(chuàng)示范基地雙創(chuàng)支撐平臺建設項目——陜西光電子集成電路先導技術中試平臺”批復。通過項目支持建設，平臺現(xiàn)已建成了一條可支持以VCSEL芯片為主的化合物半導體芯片研發(fā)、小試工藝線，具備了快測和全流程工藝流片能力，目前VCSEL4&6英寸快測及全流程工藝已通線。