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全自動(dòng)RCA自動(dòng)清洗機(jī)

　　作為半導(dǎo)體晶片清洗行業(yè)使用最多的工藝之一，RCA清洗工藝的存在已有多年的歷史。最初，人們使用的清洗方法沒有可依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)和系統(tǒng)化。1965年， RCA(美國無線電公司)研發(fā)了用于硅晶圓清洗的RCA清洗法，并將其應(yīng)用于 RCA元件制作上，該清洗法成為以后多種前后道清洗工藝流程的基礎(chǔ)，以后大多數(shù)工廠中使用的清洗工藝基本是基于最初的RCA清洗法。

　　RCA清洗法依靠溶劑、酸、表面活性劑和水，在不破壞晶圓表面特征的情況下通過噴射、凈化、氧化、蝕刻和溶解晶片表面污染物、有機(jī)物及金屬離子污染。在每次使用化學(xué)品后都要在超純水(UPW)中徹底清洗。

RCA設(shè)備特點(diǎn)

　　1、采用PLC自動(dòng)控制，根據(jù)客戶需求，設(shè)有多道配方供客戶選擇;

　　2、具有手動(dòng)模式和自動(dòng)模式切換功能;

　　3、前置式機(jī)械手傳輸，機(jī)械和電氣雙重限位卡控，定位精度高、傳送平穩(wěn)、運(yùn)行可靠;

　　4、有PVC/PP/SUS304等多種不同材質(zhì)類型的機(jī)臺;可根據(jù)藥液性質(zhì)和工藝需求進(jìn)行選擇;

　　5、工藝槽可根據(jù)客戶需求配備噴淋、溢流、循環(huán)、拋動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、盤管冷卻、超聲清洗等不同的產(chǎn)品工藝;

　　6、機(jī)臺外殼門板上裝有透明視窗，方便觀察機(jī)臺內(nèi)的運(yùn)行情況;

　　7、機(jī)臺內(nèi)配有依客戶需求定制的甩干機(jī)，可直接于Bench主屏幕完成一系列操作。

RCA設(shè)備工藝

　　A、噴淋：利用高壓水，快速沖洗產(chǎn)品上殘留的藥液;

　　B、溢流：槽體邊沿成鋸齒形，槽內(nèi)純水一直溢流;

　　C、循環(huán)：利用循環(huán)泵使槽內(nèi)藥液一直保持流動(dòng)狀態(tài)，使清洗效果更好;

　　D、拋動(dòng)：槽內(nèi)裝有拋動(dòng)機(jī)構(gòu)，使產(chǎn)品與藥液接觸效果更好;

　　E、轉(zhuǎn)動(dòng)：槽內(nèi)裝有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使產(chǎn)品在槽內(nèi)自轉(zhuǎn)，防止產(chǎn)品有清洗不到位的地方;

　　F、盤管冷卻：槽內(nèi)裝有冰水盤管，更好的保證槽內(nèi)溫度的穩(wěn)定性;

　　G、超聲清洗：主要是利用超聲波的強(qiáng)力沖擊效應(yīng)，對附著在產(chǎn)品表面的物質(zhì)進(jìn)行清洗;

　　H、熱氮烘干：通過高溫的離子風(fēng)，使產(chǎn)品表面的殘留水漬快速烘干;

　　I、傳輸方式：PLC控制機(jī)械手左右移動(dòng)，上下運(yùn)行，具備倒車功能。

設(shè)備總體組成及其結(jié)構(gòu)

　　如圖所示，設(shè)備結(jié)構(gòu)主要由機(jī)架、工藝槽體、機(jī)械手傳輸系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)以及甩干機(jī)模塊等組成。

　　根據(jù)工藝槽性質(zhì)的不同，設(shè)備的相應(yīng)的處理也有一些差異：

　　(1)設(shè)備機(jī)架采購不銹鋼304方管骨架構(gòu)成；

　　(2)殼體根據(jù)工藝槽藥液性質(zhì)的不同，分為耐火PVC，瓷白PP板，以及SUS304板包覆；

　　(3)電控區(qū)設(shè)置在機(jī)臺的后上部，與中部和底部的管路、氣路區(qū)完全隔離;

　　(4)槽體材質(zhì)也根據(jù)藥液性質(zhì)的不同，分為石英、PTFE、PVDF、SUS 316、NPP等材質(zhì);

　　(5)機(jī)械手伸入制程區(qū)的部分均作防酸、防堿、防有機(jī)腐蝕處理;

　　(6)設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)由調(diào)風(fēng)板和風(fēng)腔以及風(fēng)閥組成。風(fēng)閥位于機(jī)臺頂部或者后方，可根據(jù)工藝的不同選用自動(dòng)風(fēng)閥和手動(dòng)風(fēng)閥兩種;風(fēng)腔與機(jī)臺殼體滿焊而成，內(nèi)側(cè)做有倒流管道，防止水汽在腔體內(nèi)凝聚，無法正常排放;調(diào)風(fēng)板位于制程區(qū)槽體后側(cè)，為可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，通過調(diào)節(jié)調(diào)風(fēng)板控制抽風(fēng)量的大小。

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